💡 Российский научный фонд объявил о старте конкурса на получение грантов по выполнению прикладных научных исследований по направлению «Микроэлектроника»
Гранты выделяются на реализацию проектов в 2026–2028 годах, по приоритетным направлениям научно-технологического развития Российской Федерации в области микроэлектроники. 🌟
Конкурс проводится по 16 лотам:▶️ Лот № 1 «Разработка комплекса газоочистки агрессивных примесей в выхлопных газах процесса газофазной эпитаксии (CVD)»
▶️ Лот № 2 «Разработка технологии оптимизации CVD-эпитаксии низкодефектных слоёв 4H-SiC для карбид-кремниевой силовой электроники на основе адаптивных алгоритмов и моделей машинного обучения»
▶️ Лот № 3 «Разработка технологии повышения точности и робастности интегрально-оптического датчика напряжения на основе ниобата лития»
▶️ Лот № 4 «Разработка теплового узла, методики выращивания монокристаллов карбида кремния из раствора в расплаве, включая адаптивную систему автоматизации технологического процесса»
▶️ Лот № 5 «Исследование конструктивно-технологических решений и разработка технологии изготовления миниатюрных ВЧ и СВЧ интегральных LTCC-модулей с пьезоэлектрическими фильтрами и малошумящим усилителем»
▶️ Лот № 6 «Исследование и разработка технологических решений двукратной литографии для повышения плотности компоновки топологии при формировании линий затвора СБИС на базе технологии 90 нм»
▶️ Лот № 7 «Кремниевая технология сверхширокополосных шумовых источников до 50 ГГц для отечественных СВЧ-измерительных систем и метрологии»
▶️ Лот № 8 «Разработка цифровой архитектуры интеллектуальных СВЧ генераторов шума»
▶️ Лот № 9 «Разработка библиотеки стандартных элементов и комплексного инструмента проектирования СВЧ МИС на основе InGaP/GaAs гетеробиполярных транзисторов»
▶️ Лот № 10 «Проведение исследований процессов каталитически-сорбционной очистки и разработка регенерируемых финишных очистителей и установок очистки азота, аргона и сжатого воздуха от примесей О2, Н2О, СО, СО2, СхНу до уровня их содержания не более 1 ppb и методов контроля качества»
▶️ Лот № 11 «Разработка и аттестация методик аналитического контроля качества деионизованной воды для микроэлектронного производства с проектными нормами 28 нм»
▶️ Лот № 12 «Проведение исследований и разработка научно-методических основ и экспериментального комплекса динамической генерации примесей О2, Н2О, СО, СО2, СхНу в чистом N2, Ar, XCDA на уровне 1 ppb для калибровки газоаналитического оборудования»
▶️ Лот № 13 «Разработка и внедрение технологии идентификации и контроля загрязнений при синтезе полимерной основы литографических материалов для технологий 180/90 нм»
▶️ Лот № 14 «Разработка конструкции и технологии эпитаксиального роста полупроводниковых гетероструктур GaAs/AlGaAs/InGaP, обеспечивающих возможность монолитной интеграции в одном кристалле гетеробиполярного транзистора и варикапа в целях организации серийного производства широкополосных GaAs СВЧ-генераторов, управляемых напряжением»
▶️ Лот № 15 «Разработка технологического блока формирования третьего уровня металлизации и топологий многоуровневых библиотечных элементов с целью модернизации стандартной технологии проектирования и производства СВЧ МИС на основе GaAs нормально открытых рНЕМТ с проектной нормой 0,5 мкм»
▶️ Лот № 16 «Исследование физико-технологических основ и отработка технологии лазерного микробампирования со струйной подачей припоя»
💰 Размер гранта:— для лотов № 1, 3, 5, 7 — до 90 млн. рублей, на 2026–2028 годы.
— для лотов № 2, 6, 8 — до 30 млн. рублей, на 2026–2028 годы.
— для лота № 4 — до 88 млн. рублей, на 2026–2028 годы.
— для лотов № 9–16 — до 90 млн. рублей, на 2026–2028 годы.
🗓 Подача заявок осуществляется
до 17:00 (мск) 5 ноября 2026 года, через
систему ИАС РНФ. 🔗 Конкурсная документация размещена
по ссылке. По вопросам подачи заявок обращайтесь в Центр обеспечения научной деятельности «Моя наука» по адресу myscience@bmstu.ru или к Коньковой Юлии Олеговне (@locandyu; konkova@bmstu.ru).
