🇯🇵 Японская компания Tokyo Electron роботизирует обслуживание оборудования для производства полупроводников
Tokyo Electron (TEL) разрабатывает роботизированные системы для автоматизации технического обслуживания полупроводникового оборудования. Компания связывает это направление с усложнением установок, дефицитом квалифицированных специалистов и дальнейшей автоматизацией фабрик.
🤖 В первую очередь TEL планирует передать роботам наиболее регулярные и трудоемкие операции:
🔹 замену расходных компонентов внутри установок, включая извлечение отработанных деталей и установку новых;
🔹 замену исходных материалов, прежде всего там, где операции выполняются часто, связаны с риском ошибок или предъявляют повышенные требования к безопасности;
🔹 транспортировку компонентов между оборудованием и зонами обслуживания;
🔹 работы на высоте и в труднодоступных участках установок, для которых рассматриваются компактные роботы, способные перемещаться внутри оборудования.
🔬 Одна из основных инженерных задач связана с точностью выполнения таких операций. Например, при обслуживании плазменного оборудования положение отдельных компонентов необходимо выдерживать с допуском, сопоставимым с толщиной листа бумаги: отклонение может повлиять на однородность плазмы и параметры технологического процесса.
👁️ Для позиционирования роботов TEL использует камеры и системы технического зрения. Условия внутри технологических установок осложняют распознавание: на поверхностях постепенно накапливаются побочные продукты процесса, меняющие внешний вид компонентов. Для повышения устойчивости систем технического зрения компания развивает алгоритмы с применением ИИ.
⚙️ Роботизация потребует изменений и в конструкции самого полупроводникового оборудования. Установки должны обеспечивать роботам доступ к обслуживаемым узлам и возможность выполнять необходимые операции с заданной точностью. Параллельно TEL работает над стандартизацией отдельных элементов роботизированных систем, включая мобильные платформы и интерфейсы взаимодействия с оператором, чтобы унифицированные решения можно было применять для разных типов оборудования.
В перспективе роботы должны стать частью автоматизированной фабричной инфраструктуры. Помимо выполнения физических операций, они смогут регистрировать данные о проведенном обслуживании, что позволит стандартизировать процедуры, анализировать причины отказов и сокращать простои оборудования.
#ЭлМаш #технологии
Tokyo Electron (TEL) разрабатывает роботизированные системы для автоматизации технического обслуживания полупроводникового оборудования. Компания связывает это направление с усложнением установок, дефицитом квалифицированных специалистов и дальнейшей автоматизацией фабрик.
🤖 В первую очередь TEL планирует передать роботам наиболее регулярные и трудоемкие операции:
🔹 замену расходных компонентов внутри установок, включая извлечение отработанных деталей и установку новых;
🔹 замену исходных материалов, прежде всего там, где операции выполняются часто, связаны с риском ошибок или предъявляют повышенные требования к безопасности;
🔹 транспортировку компонентов между оборудованием и зонами обслуживания;
🔹 работы на высоте и в труднодоступных участках установок, для которых рассматриваются компактные роботы, способные перемещаться внутри оборудования.
🔬 Одна из основных инженерных задач связана с точностью выполнения таких операций. Например, при обслуживании плазменного оборудования положение отдельных компонентов необходимо выдерживать с допуском, сопоставимым с толщиной листа бумаги: отклонение может повлиять на однородность плазмы и параметры технологического процесса.
👁️ Для позиционирования роботов TEL использует камеры и системы технического зрения. Условия внутри технологических установок осложняют распознавание: на поверхностях постепенно накапливаются побочные продукты процесса, меняющие внешний вид компонентов. Для повышения устойчивости систем технического зрения компания развивает алгоритмы с применением ИИ.
⚙️ Роботизация потребует изменений и в конструкции самого полупроводникового оборудования. Установки должны обеспечивать роботам доступ к обслуживаемым узлам и возможность выполнять необходимые операции с заданной точностью. Параллельно TEL работает над стандартизацией отдельных элементов роботизированных систем, включая мобильные платформы и интерфейсы взаимодействия с оператором, чтобы унифицированные решения можно было применять для разных типов оборудования.
В перспективе роботы должны стать частью автоматизированной фабричной инфраструктуры. Помимо выполнения физических операций, они смогут регистрировать данные о проведенном обслуживании, что позволит стандартизировать процедуры, анализировать причины отказов и сокращать простои оборудования.
#ЭлМаш #технологии